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功率器件产线测试系统
本产品为IGBT、SiC等功率半导体器件提供全套功率测试解决方案，可高效实现从晶圆级到最终产品的ISO、DC、AC等全套测试，实现全自动化测试过程，并配置丰富的测试接口和功能模块选择，满足不同器件测试对测试机的要求。
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